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半导体污染工程
  • 称号:

    半导体污染工程

  • 简介:

    半导体组件空间单元都因此微米盘算,因而微尘颗粒沾附在制造半导体组件的晶圆上,便有大概影响到其上精细导线结构的款式,形成短路或断路的严峻结果。一切半导体制程设置装备摆设都必需安顿在阻遏粉尘进入的密闭空间中,这便是半导体无尘车间的因由。

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半导体组件空间单元都因此微米盘算,因而微尘颗粒沾附在制造半导体组件的晶圆上,便有大概影响到其上精细导线结构的款式,形成短路或断路的严峻结果。一切半导体制程设置装备摆设都必需安顿在阻遏粉尘进入的密闭空间中,这便是半导体无尘车间的因由。

产品特点:

以下半导体干净无尘车间的相干的技能和利用办理措施:

1.半导体干净无尘车间外部要确保粉尘只出不进,因而干净无尘车间室内要坚持大于大气压的情况。这就必要用大型鼓风机将经污染设置装备摆设的氛围源源不停地打入干净车间中。

2.为坚持恒温与恒湿,大型空调设置装备摆设须搭配前述之鼓风加压体系利用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。

3.一切经污染设置装备摆设的氛围活动偏向均由上往下为主,因而,干净无尘车间室内空间设计或机台摆放应制止突兀,使灰尘细菌等在干净无尘车间内盘旋停滞的时机与工夫减至最低水平。

4.一切建材均以不易发生静电吸附的材质为主。

5.一切人或事物收支干净无尘车间,人必需穿配套防尘服,人或事物都要颠末风淋室吹淋以将外表粉尘先行撤除。

6.半导体干净无尘车间内水的利用只限用去离子水。一则避免水中粉粒净化晶圆,二则避免水中重金属离子(如钾、钠离子)净化金氧半晶体管布局之带电载子信道,影响半导体组件的事情特征。去离子水是最佳的溶剂与干净剂,在半导体产业之利用量极为惊人!

7.半导体干净无尘车间一切用失掉的气源,包罗吹干晶圆及机台空压所必要的,都得利用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气乃至要求99.8%以上的高纯氮。

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